山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室。 记者刘振兴摄

　　记者刘潇通讯员王艳赵庆川
　　自去年底获得筹建批复后，山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室一直处于加紧建设状态。“实验室配备了半导体材料工艺设备和仪器500余台，组建了70余人的核心研发团队，并在北京建设研发中心，着力在单晶生长、硅片精密加工、半导体检测和半导体材料应用拓展研究四大方面寻求突破。”山东有研总工程师肖清华介绍。
　　近年来，天衢新区加快建设创新创业动力策源地，形成了涵盖聚集项目、人才、技术、资金的三类平台矩阵，具体包括了科创平台、公共技术服务平台和创新创业孵化载体。以科创平台建设为例，全区紧紧围绕主导产业谋划平台布局，目前形成了平台的梯队分布之势。尤其是“一号产业”——电子信息产业，平台建在了主产业链及配套的各环节，其中以硅单晶半导体材料与技术重点实验室为杰出代表。
　　作为山东省重点实验室，硅单晶半导体材料与技术重点实验室从去年筹建批复之初，便格外受外界关注。“这与新区开放的科研环境密不可分，也与实验室的特殊属性紧密相连。”肖清华告诉记者，实验室依托企业建立，内部与生产衔接，外部与地方院校合作，实现了产学研的深度融合。
　　在肖清华看来，硅材料技术的研发，涉及了晶体生长、切割、研磨、清洗、抛光、外延、精密检测等多项关键技术，而硅材料直径越大，对技术创新的要求就越高。“依托省重点实验室这个高含金量的科创平台，我们将创新嵌入了企业发展脉搏，在这些高大上仪器和技术的加持下，未来，我们有望突破更大尺寸硅片的核心技术。”肖清华说。
　　据统计，全区现有科技口科创平台105家，包含国家级1家、省级12家、市级92家。其中，新能源新材料产业科创平台42家，占比40%，数量最多；其次是高端装备制造产业科创平台37家，占比35.24%。
　　科创平台成果凸显，与新区相关部门提前谋划密不可分。今年以来，经信科技部实地走访企业40余家，及时为企业嫁接高校科研院所高端智力成果和金融机构资金资源，同时强化服务意识，积极组织了22家企业申报省、市两级科创平台，不断壮大全区常规科创平台建设队伍。 （下转B2版）