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2020年度中国有色金属工业科学技术奖颁布
山东有研半导体一项目获二等奖

有研半导体生产车间。记者 路龙帅 摄


  本报讯(牟金文)日前,中国有色金属工业协会、中国有色金属学会联合发布《关于颁发2020年度中国有色金属工业科学技术奖的通知》,山东有研半导体的IGBT用8英寸硅衬底抛光片项目获得2020年度中国有色金属工业科学技术奖二等奖。
  据了解,IGBT用8英寸硅衬底抛光片项目的实施,突破了完整8英寸硅单晶生长、8英寸硅片精密加工等关键技术,解决了晶体微缺陷控制、硅片几何参数精密控制的技术难题,研制出晶体微缺陷极少、几何参数高度精密的高品质8英寸轻掺硅片,打破了国外技术壁垒,完全实现进口替代,形成了具有自主知识产权的一系列核心技术。项目整体技术达到国际先进水平,其中部分指标达到国际领先水平。
  据悉,项目成功实施成果转化,实现了可观的经济效益,并填补了国内IGBT用8英寸硅衬底抛光片产品的技术空白,批量生产的产品进入市场,累计销售超过30万片,销售额近亿元,前景良好。同时项目成果辐射带动了相关配套产业的发展,提升了项目单位现有8英寸硅材料的产品质量和技术,产品在国际上呈现了较好的竞争力,促进了我国高端半导体产业链的完善,使我国半导体设备部件和设备部件用高端硅材料逐步摆脱对国外的依赖,提升了国家竞争力和战略地位,保障国内集成电路产业的持续健康发展。
  2020年8月,山东有研半导体材料有限公司传出好消息:8英寸半导体级直拉硅单晶一次性拉制成功!该公司副总经理刘斌兴奋不已:这是在德州经济技术开发区新厂区使用新设备生产的,是山东省首根半导体级8英寸直拉硅单晶,标志着该产品在德州量产迈出了关键一步。
  2020年10月16日,山东有研半导体材料有限公司举行集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目通线量产仪式,中国工程院院士屠海令宣布项目正式通线量产。
  在山东有研顺利投产的背后,离不开经开区一系列给力的举措:压缩项目落地时限实现“拿地即开工”,一条龙服务配套设施“办得好”,创新机制早餐例会督进度等。

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【第 01 版:要闻】
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