山东有研的无尘车间

□张海峰贺莹莹刘潇韩哲
　　11月18日，山东省人民政府发布关于表彰第十届山东省省长质量奖及提名奖获奖单位和个人的通报，山东有研半导体材料有限公司（以下简称山东有研）总经理、正高级工程师张果虎荣获本届省长质量奖。“这份荣誉既是对个人工作的肯定，更是对企业质量管理体系的认可。”张果虎表示。
　　集成电路是信息产业的核心，德州市主动融入京津冀协同发展战略，先后引进了集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目、12英寸集成电路用大硅片产业化项目、集成电路刻蚀设备用硅材料项目硅片等重点项目，形成了包含设计、材料、封装、测试在内的集成电路产业微集群，其中“有研系”已在德州建设了七大项目。前不久，世界集成电路协会发布《2025年全球集成电路产业综合竞争力百强城市白皮书》，山东省共有济南、青岛和德州等3个城市入选，德州列第99位。
　　作为“有研系”落地德州的首个项目，山东有研半导体6—8英寸硅片项目如今已实现月产50万片的稳定产能。谈及项目在行业内保持领先的秘诀，张果虎直言，这离不开企业对产品质量的极致追求。“一片硅材料的生产要经过十几道工序，每一道工序我们都制定了严格的企业内控标准。硅片作为高纯度材料，核心要求就是‘平、纯、洁’，我们早已把‘质量控制’深度融入工艺DNA之中。”张果虎介绍。产品平整度达到纳米级，相当于让3万个晶体管“整齐入住”同一层楼，每片硅片都拥有专属“电子身份证”，上百个工艺参数实时上传系统，实现产品片片可追溯，甚至能精准定位到单晶原位置。不仅如此，企业还创新应用CPDAS单晶大数据平台、硅片形貌分析系统、缺陷密度AI判读系统这三大智能制造“法宝”，用智慧手段为产品质量筑起坚实防线。
　　回忆起5年前8英寸硅片项目通线量产时的场景，张果虎仍记忆犹新：“当时有人问我，项目面临的最大挑战是什么？ （下转2版）