本报讯（记者刘潇通讯员韩哲张小璐）截断、滚磨、切片……无尘车间内，经过40余道工序，一件件刻蚀设备用硅材料部件成功下线。10月16日，山东有研刻蚀设备用硅材料项目通线量产，这是全省首个集成电路刻蚀设备用硅材料生产项目，填补了省内技术空白，在完善新一代信息技术产业链上迈出关键一步。
　　据悉，项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，全部达产后年可新增硅材料部件204吨。“刻蚀设备用硅材料部件主要包括硅环和硅电极，是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要用于生产8至12英寸等离子刻蚀机。”山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞介绍。
　　作为国内最早开展硅片产业化的企业，此前，有研集团一直生产刻蚀设备用硅部件半成品，来到德州后，开始布局全产业链成品制作。从2021年底谋划至今，经历了漫长的科研攻关。“既要保证产品杂质少、微缺陷少，还要保证电阻率、金属含量等诸多关键性能指标达标。”在闫志瑞看来，最难的是直拉硅单晶制备过程，需要保证工艺稳定性和质量参数一致性。
　　作为“有研系”在德州布局的重点延链补链项目之一，项目对于完善全省集成电路产业格局，填补省内空白意义重大，同时将彻底改变国内刻蚀设备用硅材料依赖进口的局面。“现在我们不仅制造加工刻蚀用单晶硅材料，还能生产相关成品部件，全产业链布局可以直面终端刻蚀机厂商，无形中提升了市场附加值，在细分领域赛道增加了竞争力。”闫志瑞介绍，“通线代表从小批量转为大批量生产，目前第一期每月产能1500片，最大目标是每月1万片。”
　　眼下，有研集团已投资近百亿元，在德州布局7个产业链项目，天衢新区涵盖6个项目，并集聚打造了占地1000亩的集成电路关键材料基地。“针对每个项目，天衢新区始终坚持靠前服务，成立项目推进专班和三级帮包服务专员队伍，点对点、一对一解决项目建设中的‘疑难杂症’，全方位协助办理各项审批手续、完善各种配套设施建设，帮助项目以最快速度落地投产。”天衢新区党工委委员、管委会副主任李涛说。