本报讯（记者 王志强 李榕 通讯员 韩哲）3年“长了”4英寸，德州成为全国第5个能生产12英寸大硅片的城市。1月14日，参加市政协十五届三次会议的市政协委员、山东有研半导体材料有限公司常务副总经理刘斌表示，有研项目落户德州以来，8英寸硅片项目稳健经营，12英寸硅片和高纯溅射靶材项目相继投产，德州已成为国内生产集成电路关键材料的重要基地。他建议，德州可依托现有龙头企业，补链强链，让集成电路关键材料“山东造”走向全球。
　　有研在德州的快速发展，是德州新一代信息技术产业的一个缩影。2018年，有研集成电路用大尺寸硅材料规模化基地项目落户德州，2019年，12英寸硅片产业化项目落户德州。2020年10月，8英寸集成电路用硅片项目通线量产；3年后，12英寸集成电路用大硅片生产线通线。
　　位于天衢新区的山东有研艾斯半导体材料有限公司无尘车间内，单晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，经过倒角、研磨、抛光等40余道工序后，准备出厂。谈起硅片，山东有研艾斯总经理闫志瑞满脸自豪：“我们是山东省内唯一生产12英寸大硅片的企业，生产线一期总投资25亿元，目前月产能为10万片，技术水平国内领先。”
　　“从8英寸跃升到12英寸，不仅仅是个头的变化。”闫志瑞直言，硅片直径越大，对硅片生产的技术、工艺、设备、原材料等要求就越高。山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片平整度、表面沾污等关键技术难题，目前12英寸大硅片已在国内外多家知名集成电路制造企业开展产品验证。
　　硅片“长个”的背后，是德州良好的营商环境。德州把新一代信息技术产业作为“一号产业链”，市委主要负责同志任产业链链长，在产业链推进机制下，产业服务不断优化，企业涉及的用水用电、日常经营、人才安置等问题都得到高效解决。 （下转2版）