车间内，工作人员在点检脱胶清洗后的硅片。记者刘振兴孙耕摄

　　本报讯（记者李榕刘潇通讯员韩哲）10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在天衢新区实现通线，这是全省首条12英寸集成电路用大硅片生产线，标志着山东在完善集成电路产业链上迈出了关键一步。项目达产后将形成每年120万片的生产规模。
　　10月16日，在山东有研艾斯半导体材料有限公司的无尘车间内，经过单晶拉制、滚磨截断、线切割等数十道工序，一片片12英寸大硅片成功下线。
　　硅片即“晶圆”，是制造芯片的关键材料，相当于芯片的“地基”。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。
　　“我们是山东省内唯一一家生产12英寸大硅片的企业，目前可实现月产能10万片。最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。”山东有研艾斯总经理闫志瑞介绍，硅片直径越大，封装出的芯片越多，单个芯片制造成本越低。但同时对材料和技术的要求越高，制造难度也越大。其中，单晶工艺是最核心的技术，决定了硅片尺寸、电阻率、纯度等晶体缺陷。历经3年技术研发，山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸、硅片表面沾污等关键技术指标，目前已在国内外多家知名集成电路制造企业开展产品验证。
　　据悉，该项目是国内半导体材料龙头企业中国有研参股布局的重点项目之一，一期投资25亿元，达产后将彻底改变我国依赖进口的局面。
　　2018年以来，中国有研在德州投资近百亿元，落地7个项目，已投产4个，德州成为有研在全国投资布局规模最大、业务领域最广的科技成果转化基地。天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造中国集成电路关键材料（德州）基地，将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地。
　　企业投资持续“加码”，中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢信心十足，“投资项目进展顺利、运行正常，事实证明当初选择德州是正确的。”他表示，德州将有研作为链主企业重点培育，精心建设专业园区，形成了较为完善的半导体产业生态，有研也将充分发挥头部效应，集聚更多上下游企业落户德州。
　　近5年来，德州半导体产业产值年均增长近20%。山东有研入选省级“雁阵形”产业集群领军企业库，天衢新区电子信息（集成电路）入选山东省战略性新兴产业集群和特色产业集群，已成为全省半导体产业高质量发展的重要增长极，一批高端优质项目聚“链”成“群”，蓬勃发展。