山东有研半导体材料有限公司生产车间。记者刘振兴摄

俯瞰集成电路关键材料基地。记者刘振兴摄

　　记者李榕通讯员韩哲宋钊铭
　　8月18日，山东有研刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目开工仪式在天衢新区举行。这两个项目的落地，将推动德州打造国内领先集成电路关键材料基地，并与已建成和在建的8英寸硅片、12英寸硅片、高纯溅射靶材项目“抱团发展”，将使德州市乃至山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。
　　两项目落户新区
　　总投资逾7亿元
　　芯片，是新一代信息技术产业的核心。山东有研是德州2018年引进的央企项目，作为德州市新一代信息技术产业链上的半导体材料生产龙头企业，目前生产的产品广泛应用于集成电路、功率器件等多个领域，打破了国外垄断，重点满足我国物联网、汽车电子、工业制造、手机摄像头等领域需求。
　　本次开工的刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目是有研半导体硅材料股份公司的上市募投项目。其中，刻蚀设备用硅材料项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，项目达产后年新增硅材料204吨，年实现营业收入3.9亿元；8英寸硅片扩产项目总投资3.84亿元，全部达产后可实现年新增120万片8英寸硅片产品的生产能力，年均营业收入2.4亿元。
　　“集成电路是高端制造业的‘皇冠明珠’，此次开工的两个项目是我们践行有色金属行业‘国家队’使命的重要载体，将进一步推动德州打造国内领先集成电路关键材料基地。”中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢说。
　　据介绍，刻蚀设备用硅材料项目生产的产品为集成电路刻蚀设备所用的硅部件，是集成电路生产过程中刻蚀工序的消耗性材料，产品的难度在于直拉硅单晶制备过程中的工艺稳定性、产品质量参数一致性等。8英寸硅片扩产项目的产品为集成电路用直径8英寸硅抛光片，是集成电路生产过程中的原料。“这两个项目的建成，将进一步拓宽公司的产品范围，提高公司的市场占有率。同时，全部建成后将实现产值6.3亿元，建成中国最大刻蚀设备用硅材料生产基地。”周旗钢说。
　　持续“加码”背后
　　得益营商环境之优
　　2017年到德州考察、2018年签署协议、2019年动工、2020年8英寸硅片通线量产，再到如今多个项目陆续落地德州，有研在天衢新区的发展一路高歌猛进。
　　有研持续“加码”投资的背后，得益于德州良好的营商环境。“从项目审批，到快速解决建设中遇到的水电气等配套难题，再到有研员工团购价购房等，每一个细节都体现出德州真招实招留企稳企的决心和诚心。”山东有研半导体材料有限公司副总经理常青说。以硅单晶拉制为例，这是一个极其复杂的过程。在拉制过程中，要控制精确温度和拉速，对水、电和氩气等动力条件的供应稳定性要求非常严苛，最害怕的就是发生抖动和能源供应的不稳定。为保证能源供应的稳定性，德州为企业建设了专用变电站，实行双回路供电。
　　此外，公司的高端人才都是从北京来到德州全职工作的，但受社保缴纳地、个人档案等限制，无法享受到当地的各类人才政策补贴。针对这一痛点，我市出台《德州市人才政策“破格权”实施细则》，对重点科研类平台和近3年从市外招引的重大“双招双引”项目，可不受平台性质限制，参照本市具有独立法人资格企业标准，同等享受市级和所在县（市、区）人才政策。不久前，山东有研半导体材料有限公司和山东有研艾斯半导体材料有限公司均被纳入首批享受人才政策“破格权”用人单位名单。“有了‘破格权’，团队成员就能享受到当地的很多人才政策，这不是简单的收入或者待遇的提升，更重要的是让他们感受到了德州惜才、爱才、护才的真心实意。”常青说。
　　集成电路关键材料基地
　　2025年满产运营
　　“集成电路产业是省市主要领导挂帅担任链长的‘一号产业链’，今年以来，天衢新区围绕集成电路产业不断延链补链，实现‘5+N’项目重大突破。”德州市委常委、天衢新区党工委书记祁小青介绍。天衢新区投资超百亿元，规划建设了1000亩的集成电路关键材料基地，现已有有研8英寸硅片、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料、8英寸扩产等6个项目入驻。其中，今年10月份12英寸硅片、高纯溅射靶材两项目将竣工投产，整个集成电路关键材料基地将于2025年实现满产运营。“此次开工的两个项目建成后，将进一步壮大全市集成电路产业规模，使德州市乃至山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。”祁小青说。
　　从2013年引进威讯集成电路封装测试项目，到2018年有研8英寸硅片项目落地生根，再到刻蚀设备用硅材料、8英寸扩产项目如期而至，10年的时间里，天衢新区集成电路产业实现了从“无中生有”到“多点开花”的华丽蝶变，形成了“引进一个项目、聚集一个园区、催生一个产业”的链式效应。
　　目前，天衢新区集聚电子信息规上企业达到36家，形成了以有研公司集成电路关键材料、威讯公司射频芯片封测为核心，鲲程电子公司芯片模组等“一核多元”的产业布局。2022年天衢新区电子信息（集成电路）产业实现总产值124.3亿元，是德州市唯一入选2022年省级战略性新兴产业的产业集群。“眼下，我们大力延链补链强链，积极引进传感器芯片设计、半导体设备制造、芯片可靠性测试等项目，全部落地后，德州将形成包括关键材料、芯片设计、封装测试等在内的集成电路产业微集群，跻身一线半导体产业城市。”祁小青说。